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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- 董, 博宇宮島, 敏郎松原, 亨岩井, 善郎DONG, BoyuMIYAJIMA, ToshiroMATSUBARA, TohruIWAI, Yoshiro
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2010-03
- 出版年(W3CDTF)
- 2010-03
- 並列タイトル等
- A Fundamental Study of Wet Blast Processing (Solid Particle Size Effects on Processing Mechanism of Monocrystalline Silicon Wafer)
- タイトル(掲載誌)
- 日本機械学会論文集(C編)
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 76 763