ウエットブラスト加工に関する基礎的研究(投射固体粒子径の単結晶Siウェハの加工メカニズムへの影響)

Material type: 文書・図像類

Author: 董, 博宇ほか

Publisher: 日本機械学会

Publication date: 2010-03

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

View All

Search by Bookstore

Holdings of Libraries in Japan

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

List of Cooperating Institutions and Databases

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｆｕｋｕｉ　Ａｃａｄｅｍｉｃ　Ｒｅｐｏｓｉｔｏｒｙ
Digital
You can check the holdings of institutions and databases with which 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ） is linked at the site of 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）.
Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｆｕｋｕｉ　Ａｃａｄｅｍｉｃ　Ｒｅｐｏｓｉｔｏｒｙ

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Digital

Material Type: 文書・図像類
Title: ウエットブラスト加工に関する基礎的研究(投射固体粒子径の単結晶Siウェハの加工メカニズムへの影響)
Author/Editor: 董, 博宇
宮島, 敏郎
松原, 亨
岩井, 善郎
DONG, Boyu
MIYAJIMA, Toshiro
MATSUBARA, Tohru
IWAI, Yoshiro
Author Heading: 董, 博宇
宮島, 敏郎
松原, 亨
岩井, 善郎
DONG, Boyu
MIYAJIMA, Toshiro
MATSUBARA, Tohru
IWAI, Yoshiro
Publication, Distribution, etc.: 日本機械学会
Publication Date: 2010-03
Publication Date (W3CDTF): 2010-03
Alternative Title: A Fundamental Study of Wet Blast Processing (Solid Particle Size Effects on Processing Mechanism of Monocrystalline Silicon Wafer)
Periodical title: 日本機械学会論文集(C編)
No. or year of volume/issue: 76 763
Volume: 76
Issue: 763
Pages: 741-748
Text Language Code: jpn
Subject Heading: Nano & Micro Machining
Tribology
Were
Processing Mechanism
Brittle Fracture
Ductile Fracture
Plastic Deformation
Wet Blast
Particle Size
Target Audience: 一般
Source: https://u-fukui.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=22659&item_no=1&attribute_id=22&file_no=1
https://u-fukui.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=22659&item_no=1&attribute_id=22&file_no=1
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 福井大学 : 福井大学学術機関リポジトリ