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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- モロヌキ, ノブユキウチヤマ, ケンジカクタ, アキラフルカワ, ユウジMoronuki, NobuyukiUchiyama, KenjiKakuta, AkiraFurukawa, Yuji諸貫, 信行内山, 賢治角田, 陽古川, 勇二
- 著者標目
- 出版年月日等
- 1999-03
- 出版年（W3CDTF）
- 1999-03
- 並列タイトル等
- Large Scale Anisotropic Etching Combined with Mechanical Machining
- 掲載ページ
- 1-46
- 本文の言語コード
- jpn
- 対象利用者
- 一般