機械加工を併用した大規模・高精度異方性エッチング

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 機械加工を併用した大規模・高精度異方性エッチング
• Author/Editor: モロヌキ, ノブユキ; ウチヤマ, ケンジ; カクタ, アキラ; フルカワ, ユウジ; Moronuki, Nobuyuki; Uchiyama, Kenji; Kakuta, Akira; Furukawa, Yuji; 諸貫, 信行; 内山, 賢治; 角田, 陽; 古川, 勇二
• Author Heading: モロヌキ, ノブユキ; ウチヤマ, ケンジ; カクタ, アキラ; フルカワ, ユウジ; Moronuki, Nobuyuki; Uchiyama, Kenji; Kakuta, Akira; Furukawa, Yuji; 諸貫, 信行; 内山, 賢治; 角田, 陽; 古川, 勇二
• Publication Date: 1999-03
• Publication Date (W3CDTF): 1999-03
• Alternative Title: Large Scale Anisotropic Etching Combined with Mechanical Machining
• Pages: 1-46
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 科学研究費補助金研究成果報告書, 課題番号9650143, 1997年度～1998年度, 基盤研究(C)
• Access Restrictions: 限定公開
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 東京都立大学 : みやこ鳥

• Summary, etc.: 単結晶シリコンの異方性エッチングを用いると,特定結晶面から成る形状が容易に得られるため,高精度な加工が行える.しかし,マスクもエッチング液に侵されてしまうため,本加工法はミクロンオ-ダの微細形状加工に限って適用されている.本研究では,機械加工で予め所望の形状に加工してからエッチングを行うことで大規模...