半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 會澤, 康治AIZAWA, KOJI
- 出版年月日等
- 1996-02
- 出版年（W3CDTF）
- 1996-02
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 1996-10-30
- 報告番号
- B2963
- 学位
- 博士(工学)