加熱TEM観察を利用したPb(Zr,Ti)O_3_強誘電体薄膜における残留応力のin-situ測定による強誘電体メモリ特性の向上に関する研究

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: 加熱TEM観察を利用したPb(Zr,Ti)O_3_強誘電体薄膜における残留応力のin-situ測定による強誘電体メモリ特性の向上に関する研究
著者・編者: 木口, 賢紀
KIGUCHI, TAKANORI
著者標目: 木口, 賢紀
KIGUCHI, TAKANORI
出版事項: 村田学術振興財団年報
出版年月日等: 2001-12
出版年（W3CDTF）: 2001
並列タイトル等: Study for improvement of Ferroelectric RAM by residual stress measurment by heating in-situ TEM analysis
タイトル（掲載誌）: 村田学術振興財団年報
巻号年月日等（掲載誌）: 15
掲載巻: 15
掲載ページ: 38-42
ISSN（掲載誌）: ISSN : 0919-3383
対象利用者: 一般
一般注記: 出版タイプ： NA
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:00062629
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 東京科学大学 : 東京科学大学リサーチリポジトリ(T2R2)