A Trial Manufacturing of Micromechanism Elements by Use of a Fast Atom Beam Etching Machine

出版者: Micro System Technologies 2003 (International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components),Herbert Reichl(Editor),2003 Franzis Verlag GmbH, 85586 Point, ISBN 3-7723-7020-9

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資料種別: 図書
タイトル: A Trial Manufacturing of Micromechanism Elements by Use of a Fast Atom Beam Etching Machine
著者・編者: 堀江, 三喜男
HORIE, MIKIO
著者標目: 堀江, 三喜男
HORIE, MIKIO
出版事項: Micro System Technologies 2003 (International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components),Herbert Reichl(Editor),2003 Franzis Verlag GmbH, 85586 Point, ISBN 3-7723-7020-9
出版年月日等: 2003
出版年（W3CDTF）: 2003
タイトル（掲載誌）: Micro System Technologies 2003, International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components
掲載ページ: 334-341
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
一般注記: identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:00092750
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ