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図書

ベローズとシリンダから成る粗微動空気圧アクチュエータによるサブナノポジショニング

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ベローズとシリンダから成る粗微動空気圧アクチュエータによるサブナノポジショニング

資料種別
図書
著者
川嶋, 健嗣ほか
出版者
株式会社 エヌ・ティー・エス
出版年
2011-08
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50146899

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書誌情報

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資料種別
図書
著者・編者
川嶋, 健嗣
Kawashima, Kenji
藤田, 壽憲
FUJITA, TOSHINORI
出版年月日等
2011-08
出版年(W3CDTF)
2011-08
タイトル(掲載誌)
アクチュエータ研究開発の最前線
掲載ページ
136-142
本文の言語コード
jpn