ベローズとシリンダから成る粗微動空気圧アクチュエータによるサブナノポジショニング

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Tokyo Tech Research Repository
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Material Type: 図書
Title: ベローズとシリンダから成る粗微動空気圧アクチュエータによるサブナノポジショニング
Author/Editor: 川嶋, 健嗣
Kawashima, Kenji
藤田, 壽憲
FUJITA, TOSHINORI
Author Heading: 川嶋, 健嗣
Kawashima, Kenji
藤田, 壽憲
FUJITA, TOSHINORI
Publication, Distribution, etc.: 株式会社エヌ・ティー・エス
Publication Date: 2011-08
Publication Date (W3CDTF): 2011-08
Periodical title: アクチュエータ研究開発の最前線
Pages: 136-142
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50146899
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ