Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors

• 資料種別: 図書
• タイトル: Fabrication and Characterization of High Strength Electrodeposited Gold toward High-Sensitive MEMS Inertial Sensors
• 著者・編者: Chang, Tso-Fu Mark; 陳, 君怡; Chen, Chun Yi; Tang, Hao-Chun; 葭葉, 将治; Yoshiba, Masaharu; 名越, 貴志; Nagoshi, Takashi; 山根, 大輔; Yamane, Daisuke; 町田, 克之; Machida, Katsuyuki; 益, 一哉; Masu, Kazuya; 曽根, 正人; Sone, Masato
• 著者標目: Chang, Tso-Fu Mark; 陳, 君怡; Chen, Chun Yi; Tang, Hao-Chun; 葭葉, 将治; Yoshiba, Masaharu; 名越, 貴志; Nagoshi, Takashi; 山根, 大輔; Yamane, Daisuke; 町田, 克之; Machida, Katsuyuki; 益, 一哉; Masu, Kazuya; 曽根, 正人; Sone, Masato
• 出版事項: IFSA Publishing
• 出版年月日等: 2017-12
• 出版年（W3CDTF）: 2017-12
• タイトル（掲載誌）: Advances in Microelectronics Reviews
• 巻号年月日等（掲載誌）: 1 No.
• 掲載巻: 1
• 掲載号: No.
• 掲載ページ: 93-106
• 本文の言語コード: eng
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50381181
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ