Design of Au-Based Micro-Components with High Structure Stability for Applications in MEMS Inertial Sensors

• 資料種別: 図書
• タイトル: Design of Au-Based Micro-Components with High Structure Stability for Applications in MEMS Inertial Sensors
• 著者・編者: Chang, Tso-Fu Mark; 陳, 君怡; Chen, Chun Yi; 石塚, 陽大; Ishizuka, Yota; 寺西, 美波; Teranishi, Minami; 鈴木, 拓真; Suzuki, Takuma; 山根, 大輔; Yamane, Daisuke; 小西, 敏文; Konishi, Toshifumi; 町田, 克之; Machida, Katsuyuki; 益, 一哉; Masu, Kazuya; 曽根, 正人; Sone, Masato
• 著者標目: Chang, Tso-Fu Mark; 陳, 君怡; Chen, Chun Yi; 石塚, 陽大; Ishizuka, Yota; 寺西, 美波; Teranishi, Minami; 鈴木, 拓真; Suzuki, Takuma; 山根, 大輔; Yamane, Daisuke; 小西, 敏文; Konishi, Toshifumi; 町田, 克之; Machida, Katsuyuki; 益, 一哉; Masu, Kazuya; 曽根, 正人; Sone, Masato
• 出版事項: IFSA Publishing
• 出版年月日等: 2019-02
• 出版年（W3CDTF）: 2019-02
• タイトル（掲載誌）: Advances in Microelectronics Reviews
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2 No.
• 掲載巻: 2
• 掲載号: No.
• 掲載ページ: 23-48
• 本文の言語コード: eng
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50420172
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ