Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers

• 資料種別: 図書
• タイトル: Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers
• 著者・編者: Chang, Tso-Fu Mark; 中島, 英亮; Nakajima, Hideaki; 陳, 君怡; Chen, Chun Yi; 山根, 大輔; Yamane, Daisuke; 小西, 敏文; Konishi, Toshifumi; 伊藤, 浩之; Ito, Hiroyuki; 町田, 克之; Machida, Katsuyuki; 益, 一哉; Masu, Kazuya; Toshiyoshi, Hiroshi; 曽根, 正人; Sone, Masato
• 著者標目: Chang, Tso-Fu Mark; 中島, 英亮; Nakajima, Hideaki; 陳, 君怡; Chen, Chun Yi; 山根, 大輔; Yamane, Daisuke; 小西, 敏文; Konishi, Toshifumi; 伊藤, 浩之; Ito, Hiroyuki; 町田, 克之; Machida, Katsuyuki; 益, 一哉; Masu, Kazuya; Toshiyoshi, Hiroshi; 曽根, 正人; Sone, Masato
• 出版事項: IFSA PUBLISHING, S.L.
• 出版年月日等: 2021-04
• 出版年（W3CDTF）: 2021-04
• タイトル（掲載誌）: Advances in Microelectronics: Reviews
• 巻号年月日等（掲載誌）: 3
• 掲載巻: 3
• 本文の言語コード: eng
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50569454
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ