プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向

資料種別: 図書

著者: 赤塚, 洋ほか

出版者: 公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

出版年: 2021-11

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: -

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュアシングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さ...

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資料種別: 図書
タイトル: プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向
著者・編者: 赤塚, 洋
AKATSUKA, HIROSHI
著者標目: 赤塚, 洋
AKATSUKA, HIROSHI
出版事項: 公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
出版年月日等: 2021-11
出版年（W3CDTF）: 2021-11
タイトル（掲載誌）: 第32回プラズマエレクトロニクス講習会プラズマプロセスの基礎と先端応用技術
掲載ページ: 19-38
ISSN（掲載誌）: ISSN : 2189-8596
本文の言語コード: jpn
対象利用者: 一般
一般注記: プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュアシングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さらに「素過程に基づく分光データ解釈」について説明する。最後に，大気圧非平衡プラズマの計測を目指した最近の研究を紹介する。
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50599930
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ