プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向

Material type: 図書

Author: 赤塚, 洋ほか

Publisher: 公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

Publication date: 2021-11

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

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Note (General)：: プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュアシングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さ...

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Material Type: 図書
Title: プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向
Author/Editor: 赤塚, 洋
AKATSUKA, HIROSHI
Author Heading: 赤塚, 洋
AKATSUKA, HIROSHI
Publication, Distribution, etc.: 公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
Publication Date: 2021-11
Publication Date (W3CDTF): 2021-11
Periodical title: 第32回プラズマエレクトロニクス講習会プラズマプロセスの基礎と先端応用技術
Pages: 19-38
ISSN (Periodical Title): ISSN : 2189-8596
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュアシングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さらに「素過程に基づく分光データ解釈」について説明する。最後に，大気圧非平衡プラズマの計測を目指した最近の研究を紹介する。
identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50599930
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ