Jump to main content

図書

プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向

Icons representing 図書

プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向

Material type
図書
Author
赤塚, 洋ほか
Publisher
公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
Publication date
2021-11
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General)：

プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュア シングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さ...

Search by Bookstore

Search by Bookstore

Holdings of Libraries in Japan

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

List of Cooperating Institutions and Databases

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

  • Tokyo Tech Research Repository

    Paper
    You can check the holdings of institutions and databases with which Institutional Repositories DataBase(IRDB)(Institutional Repository) is linked at the site of Institutional Repositories DataBase(IRDB)(Institutional Repository).
    Tokyo Tech Research Repository

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title
プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向
Author/Editor
赤塚, 洋
AKATSUKA, HIROSHI
Author Heading
赤塚, 洋
AKATSUKA, HIROSHI
Publication, Distribution, etc.
公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
Publication Date
2021-11
Publication Date (W3CDTF)
2021-11
Periodical title
第32回プラズマエレクトロニクス講習会 プラズマプロセスの基礎と先端応用技術
Pages
19-38
ISSN (Periodical Title)
ISSN : 2189-8596