文書・図像類

ECFマイクロポンプの高圧化の可能性について

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ECFマイクロポンプの高圧化の可能性について

資料種別
文書・図像類
著者
横田, 眞一ほか
出版者
-
出版年
2022-04
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50617137

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書誌情報

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資料種別
文書・図像類
著者・編者
横田, 眞一
YOKOTA, SHINICHI
金, 俊完
KIM, Joon-wan
出版年月日等
2022-04
出版年(W3CDTF)
2022-04
並列タイトル等
The potential on the high output pressure of the ECF micropumps
タイトル(掲載誌)
機能性流体との融合化によるフルードパワーシステムの新展開に関する研究委員会 研究成果報告書
掲載ページ
101-104
本文の言語コード
jpn