Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography
• 著者・編者: 田岡, 祐樹; Taoka, Yuki; 河鰭, 康平; Kawabata, Kohei; HEMTHAVY, PASOMPHONE; 崔, 勝萬; CHOI, SEUNGMAN; 高橋, 邦夫; TAKAHASHI, KUNIO; 齋藤, 滋規; SAITO, Shigeki
• 著者標目: 田岡, 祐樹; Taoka, Yuki; 河鰭, 康平; Kawabata, Kohei; HEMTHAVY, PASOMPHONE; 崔, 勝萬; CHOI, SEUNGMAN; 高橋, 邦夫; TAKAHASHI, KUNIO; 齋藤, 滋規; SAITO, Shigeki
• 出版年月日等: 2022-07
• 出版年（W3CDTF）: 2022-07
• タイトル（掲載誌）: International Journal of Automation Technology
• 巻号年月日等（掲載誌）: 16 No. 4
• 掲載巻: 16
• 掲載号: No. 4
• 掲載ページ: 471-477
• 本文の言語コード: eng
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50631463
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 東京工業大学 : 東京工業大学リサーチリポジトリ