Fabrication of Transparent Conductive Oxide Thin Films in the In-Ga-Zn-O and In-Sn-Zn-O Systems by Facing-Target DC-sputtering Technique

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Fabrication of Transparent Conductive Oxide Thin Films in the In-Ga-Zn-O and In-Sn-Zn-O Systems by Facing-Target DC-sputtering Technique

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資料種別: 博士論文
タイトル: Fabrication of Transparent Conductive Oxide Thin Films in the In-Ga-Zn-O and In-Sn-Zn-O Systems by Facing-Target DC-sputtering Technique
著者・編者: Wang, Xinzhi
著者標目: Wang, Xinzhi
出版年月日等: 2017-09-28
出版年（W3CDTF）: 2017-09-28
並列タイトル等: 対向ターゲット式DCスパッタリング法によるIn-Ga-Zn-OおよびIn-Sn-Zn-O系透明導電性酸化物薄膜の作製
授与機関名: 徳島大学
授与年月日: 2017-09-28
報告番号: 甲第3110号
学位: 博士（工学）
本文の言語コード: eng
件名標目: Wide bandgap semiconductors
thin films
DC sputtering
IGZO
ITZO
対象利用者: 一般
記録形式（IMT）: application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 徳島大学 : 徳島大学機関リポジトリ