ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究
• 著者・編者: 春田, 憲一
• 著者標目: 春田, 憲一
• 出版事項: 東海大学
• 並列タイトル等: ダイヤモンド ハクマク ノ ヒョウメン ニ ケイセイサレタ pガタ デンドウソウ ノ デンキ トクセイ オヨビ ガスセンサ エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東海大学
• 授与年月日: 2013-09-19
• 報告番号: 甲第901号
• 学位: 博士(工学)
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ダイヤモンド薄膜; ガスセンサ; 表面伝導層; 化学気相堆積; Diamond Thin Films; Gas Sensor; Surface Conductive Layer; Chemical Vapor Deposition
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 出版タイプ： VoR
• 一次資料へのリンクURL: fulltext; https://opac-t.time.u-tokai.ac.jp/iwjs0018opc/bdyview.do?bodyid=TD00000045&elmid=Body&fname=1_haruta_kenichi_naiyo_201309.pdf; https://opac-t.time.u-tokai.ac.jp/iwjs0018opc/bdyview.do?bodyid=TD00000045&elmid=Body&fname=2_haruta_kenichi_shinsa_201309.pdf; https://opac-t.time.u-tokai.ac.jp/iwjs0018opc/bdyview.do?bodyid=TD00000045&elmid=Body&fname=zenbun_k_haruta_kenichi_20131023.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 著作権情報: Based on "春田憲一, 木村英樹, 黒須楯生. 水素アニールされたダイヤモンドp型表面伝導層の酸化性ガスによる反応速度依存性. 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌). Vol.129, no.8, pp.259-264 (2009)" Copyright 〓電気学会 2009 http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.129.259; Based on "Kenichi Haruta, Hideki Kimura and Masafumi Chiba (2013). Carbonization of Si Surface Using Hot-Filament CVD Equipment and Characterization of the Char Layer. MRS Proceedings, 1511, mrsf12-1511-ee05-15" Copyright 〓 Materials Research Society 2013 http://dx.doi.org/10.1557/opl.2013.92
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 東海大学 : 東海大学機関リポジトリ