ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究
• Author/Editor: 春田, 憲一
• Author Heading: 春田, 憲一
• Publication, Distribution, etc.: 東海大学
• Alternative Title: ダイヤモンド ハクマク ノ ヒョウメン ニ ケイセイサレタ pガタ デンドウソウ ノ デンキ トクセイ オヨビ ガスセンサ エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東海大学
• Date Granted: 2013-09-19
• Dissertation Number: 甲第901号
• Degree Type: 博士(工学)
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: ダイヤモンド薄膜; ガスセンサ; 表面伝導層; 化学気相堆積; Diamond Thin Films; Gas Sensor; Surface Conductive Layer; Chemical Vapor Deposition
• Target Audience: 一般
• Access Restrictions: インターネット公開
• Rights (production): Based on "春田憲一, 木村英樹, 黒須楯生. 水素アニールされたダイヤモンドp型表面伝導層の酸化性ガスによる反応速度依存性. 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌). Vol.129, no.8, pp.259-264 (2009)" Copyright 〓電気学会 2009 http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.129.259; Based on "Kenichi Haruta, Hideki Kimura and Masafumi Chiba (2013). Carbonization of Si Surface Using Hot-Filament CVD Equipment and Characterization of the Char Layer. MRS Proceedings, 1511, mrsf12-1511-ee05-15" Copyright 〓 Materials Research Society 2013 http://dx.doi.org/10.1557/opl.2013.92
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 東海大学 : 東海大学機関リポジトリ

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