電子分光法による電子材料及びデバイス製造プロセス評価に関する研究

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資料種別: 文書・図像類
タイトル: 電子分光法による電子材料及びデバイス製造プロセス評価に関する研究
著者・編者: 中村, 誠
著者標目: 中村, 誠
出版事項: 静岡大学大学院電子科学研究科
出版年月日等: 2008-03-25
出版年（W3CDTF）: 2008-03-25
並列タイトル等: Study on evaluation of characteristics of ULSI materials and processes using electron spectroscopy
タイトル（掲載誌）: 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
巻号年月日等（掲載誌）: 29
掲載巻: 29
掲載ページ: 65-67
ISSN（掲載誌）: PISSN : 03885070
本文の言語コード: jpn
NDC: 541
対象利用者: 一般
一般注記: 博士学位論文の要旨学位記番号:工博甲第285号
甲第474号
application/pdf
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
関連情報: 000008474486
掲載誌（NCID）: AN00103168
https://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00103168
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 静岡大学 : 静岡大学学術リポジトリ