Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性

資料種別: 文書・図像類

著者: 沖田, 光史ほか

出版者: 埼玉大学地域共同研究センター

出版年: 2003

資料形態: デジタル

ページ数・大きさ等: -

NDC: -

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一般注記：: type:textidentifier:Report of Cooperative Research Center, Saitama University

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書誌情報

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デジタル

資料種別: 文書・図像類
タイトル: Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性
著者・編者: 沖田, 光史
船越, 真二
松田, 隆之
高橋, 秀明
鶴ヶ谷, 宗昭
宮崎, 久遠
土肥, 俊郎
著者標目: 沖田, 光史
船越, 真二
松田, 隆之
高橋, 秀明
鶴ヶ谷, 宗昭
宮崎, 久遠
土肥, 俊郎
出版事項: 埼玉大学地域共同研究センター
出版年月日等: 2003
出版年（W3CDTF）: 2003
並列タイトル等: New Conception and Characteristics of Abrasive-Free "Micelle Slurry" for Cu CMP
タイトル（掲載誌）: 埼玉大学地域共同研究センター紀要
巻号年月日等（掲載誌）: 3
掲載巻: 3
掲載ページ: 3-6
ISSN（掲載誌）: ISSN : 1347-4758
本文の言語コード: jpn
対象利用者: 一般
一般注記: type:text
identifier:Report of Cooperative Research Center, Saitama University
記録形式（IMT）: application/pdf
一次資料へのリンクURL: https://sucra.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=9272&item_no=1&attribute_id=28&file_no=1
https://sucra.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=9272&item_no=1&attribute_id=28&file_no=1
オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
提供元機関・データベース: 埼玉大学 : 埼玉大学学術情報リポジトリ（SUCRA）