Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性

Material type: 文書・図像類

Author: 沖田, 光史ほか

Publisher: 埼玉大学地域共同研究センター

Publication date: 2003

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

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Note (General)：: type:textidentifier:Report of Cooperative Research Center, Saitama University

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Digital

Material Type: 文書・図像類
Title: Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性
Author/Editor: 沖田, 光史
船越, 真二
松田, 隆之
高橋, 秀明
鶴ヶ谷, 宗昭
宮崎, 久遠
土肥, 俊郎
Author Heading: 沖田, 光史
船越, 真二
松田, 隆之
高橋, 秀明
鶴ヶ谷, 宗昭
宮崎, 久遠
土肥, 俊郎
Publication, Distribution, etc.: 埼玉大学地域共同研究センター
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Alternative Title: New Conception and Characteristics of Abrasive-Free "Micelle Slurry" for Cu CMP
Periodical title: 埼玉大学地域共同研究センター紀要
No. or year of volume/issue: 3
Volume: 3
Pages: 3-6
ISSN (Periodical Title): ISSN : 1347-4758
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): type:text
identifier:Report of Cooperative Research Center, Saitama University
Format (IMT): application/pdf
Source: https://sucra.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=9272&item_no=1&attribute_id=28&file_no=1
https://sucra.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=9272&item_no=1&attribute_id=28&file_no=1
Access Restrictions: 限定公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 埼玉大学 : 埼玉大学学術情報リポジトリ（SUCRA）