Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み
• 著者・編者: 加田, 渉; 三浦, 聡; 高橋, 良平; 阿久津, 尚紀; 川端, 駿介; 猿谷, 良太; 三浦, 健太; 花泉, 修; 佐藤, 隆博; 山田, 尚人; 石井, 保行; 佐藤 隆博; 石井 保行
• 著者標目: 加田, 渉; 三浦, 聡; 高橋, 良平; 阿久津, 尚紀; 川端, 駿介; 猿谷, 良太; 三浦, 健太; 花泉, 修; 佐藤, 隆博; 山田, 尚人; 石井, 保行; 佐藤 隆博; 石井 保行
• 出版年月日等: 2017-01-27
• 出版年（W3CDTF）: 2017-01-27
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 第1回QST高崎研シンポジウム
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• 要約等: イオンマイクロビームを用いた微細加工技術（Proton Beam Wrinting : PBW）の利用拡大の一環として、柔軟性があり様々な場所に実装することが可能な光導波路の開発を行っている。今回、フレキシブルポジ感光基板(厚さ85μm)にPBW（ビーム径：1μm、エネルギー：1.7MeV）を使用し...