Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み

• Material Type: 文書・図像類
• Title: Proton Beam Writing 技術を利用したフレキシブル電気回路基板内部への光配線実装の試み
• Author/Editor: 加田, 渉; 三浦, 聡; 高橋, 良平; 阿久津, 尚紀; 川端, 駿介; 猿谷, 良太; 三浦, 健太; 花泉, 修; 佐藤, 隆博; 山田, 尚人; 石井, 保行; 佐藤 隆博; 石井 保行
• Author Heading: 加田, 渉; 三浦, 聡; 高橋, 良平; 阿久津, 尚紀; 川端, 駿介; 猿谷, 良太; 三浦, 健太; 花泉, 修; 佐藤, 隆博; 山田, 尚人; 石井, 保行; 佐藤 隆博; 石井 保行
• Publication Date: 2017-01-27
• Publication Date (W3CDTF): 2017-01-27
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 第1回QST高崎研シンポジウム
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 : 量子科学技術研究開発機構 学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: イオンマイクロビームを用いた微細加工技術（Proton Beam Wrinting : PBW）の利用拡大の一環として、柔軟性があり様々な場所に実装することが可能な光導波路の開発を行っている。今回、フレキシブルポジ感光基板(厚さ85μm)にPBW（ビーム径：1μm、エネルギー：1.7MeV）を使用し...