微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究
• タイトルよみ: ビサイ ミスト タイセキホウ ノ カイハツ トソノ キョウユウ デンタイ Pb Zr,Ti O3 ハクマク ノ サクセイ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 河崎, 晋
• 著者標目: 河崎, 晋 カワサキ, ススム
• 出版事項: 奈良先端科学技術大学院大学
• 出版年月日等: 2005-03-24
• 出版年（W3CDTF）: 2005-03-24
• 並列タイトル等: Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O3 Thin Film by Refined Mist Deposition
• 授与機関名: 奈良先端科学技術大学院大学
• 授与年月日: 2005-03-24
• 報告番号: 甲第497号
• 学位: 博士(工学)
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ミスト堆積法; リファイナー; 段差被覆性; 強誘電体; 薄膜
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.34413/dr.00497
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 奈良先端科学技術大学院大学 : 奈良先端科学技術大学院大学学術リポジトリnaistar

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