微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ビサイ ミスト タイセキホウ ノ カイハツ トソノ キョウユウ デンタイ Pb Zr,Ti O3 ハクマク ノ サクセイ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 河崎, 晋
- Author Heading
- 河崎, 晋 カワサキ, ススム
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2005-03-24
- Publication Date (W3CDTF)
- 2005-03-24
- Alternative Title
- Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O3 Thin Film by Refined Mist Deposition
- Degree grantor/type
- 奈良先端科学技術大学院大学