原子層堆積法による高機能酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタの低温形成とその評価
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨル コウキノウ サンカブツ ハンドウタイ オ モチイタ ハクマク トランジスタ ノ テイオン ケイセイ ト ソノ ヒョウカ
- 著者・編者
- 川村, 悠実
- 著者標目
- 川村, 悠実 カワムラ, ユミ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2013-03-22
- 出版年（W3CDTF）
- 2013-03-22
- 並列タイトル等
- Low-Temperature Fabrication and Evaluation of Thin- Film Transistors with High-performance Oxide Semiconductor Prepared by Atomic Layer Deposition
- 授与機関名
- 奈良先端科学技術大学院大学