Fabrication of High-Performance Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors at Super Low-Temperature and Its New Electrical Characterization Method
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 町田, 絵美
- 著者標目
- 町田, 絵美 マチダ, エミ
- 出版年月日等
- 2013-03-22
- 出版年(W3CDTF)
- 2013-03-22
- 並列タイトル等
- 高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの超低温作製と新規手法による電子物性評価コウセイノウ タケッショウ シリコン ハクマク トランジスタ ノ チョウテイオン サクセイ ト シンキ シュホウ ニ ヨル デンシ ブッセイ ヒョウカ
- 授与機関名
- 奈良先端科学技術大学院大学
- 授与年月日
- 2013-03-22