Fabrication of High-Performance Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors at Super Low-Temperature and Its New Electrical Characterization Method
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 町田, 絵美
- Author Heading
- 町田, 絵美 マチダ, エミ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2013-03-22
- Publication Date (W3CDTF)
- 2013-03-22
- Alternative Title
- 高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの超低温作製と新規手法による電子物性評価コウセイノウ タケッショウ シリコン ハクマク トランジスタ ノ チョウテイオン サクセイ ト シンキ シュホウ ニ ヨル デンシ ブッセイ ヒョウカ
- Degree grantor/type
- 奈良先端科学技術大学院大学
- Date Granted
- 2013-03-22