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博士論文

Relationship between Electrical Characteristics and Crystallographic Properties in Pseudo-Single-Crystal Silicon Thin-Film Transistors Fabricated by Phase-Modulated Excimer Laser Annealing

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Relationship between Electrical Characteristics and Crystallographic Properties in Pseudo-Single-Crystal Silicon Thin-Film Transistors Fabricated by Phase-Modulated Excimer Laser Annealing

資料種別
博士論文
著者
三谷, 昌弘
出版者
Nara Institute of Science and Technology
出版年
2014-03-24
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
奈良先端科学技術大学院大学,博士(工学)
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デジタル

資料種別
博士論文
タイトル
Relationship between Electrical Characteristics and Crystallographic Properties in Pseudo-Single-Crystal Silicon Thin-Film Transistors Fabricated by Phase-Modulated Excimer Laser Annealing
著者・編者
三谷, 昌弘
著者標目
三谷, 昌弘 ミタニ, マサヒロ
出版事項
Nara Institute of Science and Technology
出版年月日等
2014-03-24
出版年（W3CDTF）
2014-03-24
並列タイトル等
位相変調エキシマレーザーアニーリングで作製した擬似単結晶シリコン薄膜トランジスタの電気的特性と結晶学的特性の関係の研究
イソウ ヘンチョウ エキシマレーザー アニーリング デ サクセイシタ ギジ タンケッショウ シリコン ハクマク トランジスタ ノ デンキテキ トクセイ ト ケッショウガクテキ トクセイ ノ カンケイ ノ ケンキュウ
授与機関名
奈良先端科学技術大学院大学
授与年月日
2014-03-24