単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
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書誌情報
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- 資料種別
- 文書・図像類
- 著者・編者
- 近藤, 博基安田, 幸夫財満, 鎭明酒井, 朗池田, 浩也
- 出版年月日等
- 2005-04
- 出版年(W3CDTF)
- 2005-04
- 本文の言語コード
- jpn
- 件名標目
- 対象利用者
- 一般
- 一般注記
- 科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:13305005 研究代表者:近藤 博基 研究期間:2001-2004年度