走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 大毛利, 健治
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2000-03-27
- 出版年（W3CDTF）
- 2000-03-27
- 並列タイトル等
- Study on Formation and Degradation of Ultra-Thin SiO2 Films Using Scanning Tunneling Microscopy
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 2000-03-27
- 報告番号
- 甲第4710号