博士論文

走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究

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走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究

Material type
博士論文
Author
大毛利, 健治
Publisher
-
Publication date
2000-03-27
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋大学,博士(工学)
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Note (General):

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成12年3月27日

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Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
大毛利, 健治
Author Heading
Publication Date
2000-03-27
Publication Date (W3CDTF)
2000-03-27
Alternative Title
Study on Formation and Degradation of Ultra-Thin SiO2 Films Using Scanning Tunneling Microscopy
Degree grantor/type
名古屋大学
Date Granted
2000-03-27
Dissertation Number
甲第4710号