高密度プラズマガン及びDCマグネトロンスパッタ法を用いた低温・大面積基板用成膜プロセスとその膜特性に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 小島, 啓安
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2012-03-26
- 出版年（W3CDTF）
- 2012-03-26
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 2012-03-26
- 報告番号
- 甲第9642号
- 学位
- 博士(工学)