シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究
• 著者・編者: 佐道, 泰造
• 著者標目: 佐道, 泰造 サドウ, タイゾウ
• 出版年月日等: 1995-03-27
• 出版年（W3CDTF）: 1995-03-27
• 授与機関名: 九州大学
• 授与年月日: 1995-03-27
• 報告番号: 甲第3494号
• 学位: 博士（工学）; DOCTOR OF ENGINEERING
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 主1-参1; システム情報_電気工学（？）
• DOI: 10.11501/3099866
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• 一次資料へのリンクURL: sadou.pdf; https://catalog.lib.kyushu-u.ac.jp/opac_download_md/22502/sadou.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 関連情報（URI）: URI; https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3099866
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ

目次

第1章 序論 第2章 バナジウムが形成する欠陥の評価 第3章 重金属と水素が形成する複合欠陥の評価 第4章 低エネルギーイオン照射により形成される欠陥の評価 第5章 結論