シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: シリコン結晶中の微小欠陥とその評価に関する研究
Author/Editor: 佐道, 泰造
Author Heading: 佐道, 泰造サドウ, タイゾウ
Publication Date: 1995-03-27
Publication Date (W3CDTF): 1995-03-27
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 1995-03-27
Dissertation Number: 甲第3494号
Degree Type: 博士（工学）
DOCTOR OF ENGINEERING
Text Language Code: jpn
Target Audience: 一般
Note (General): 主1-参1
システム情報_電気工学（？）
DOI: 10.11501/3099866
Format (IMT): application/pdf
Source: sadou.pdf
https://catalog.lib.kyushu-u.ac.jp/opac_download_md/22502/sadou.pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Related Material (URI): URI
https://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3099866
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ