77K Si結晶PL測定の精度向上に向けた取り組み

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 77K Si結晶PL測定の精度向上に向けた取り組み
• 著者・編者: 林, 大吾
• 著者標目: 林, 大吾 ハヤシ, ダイゴ
• 出版事項: 九州大学応用力学研究所
• 出版年月日等: 2023-07
• 出版年（W3CDTF）: 2023-07
• タイトル（掲載誌）: 九州大学応用力学研究所技術室 技術室報告
• 巻号年月日等（掲載誌）: 5
• 掲載巻: 5
• 掲載ページ: 7-12
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: シリコン; 半導体; フォトルミネッセンス; 分光測定
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.15017/6794442
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 掲載誌（NCID）: AA12867474; https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA12867474
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ

• 要約等: 当研究所新エネルギーシステム工学分野では、パワーデバイス用半導体の品質向上を目的とした研究の一環として、フォトルミネッセンス法（PL法）による低濃度不純物定量法の標準化に向けた測定実験が行われている。当該の測定を行うには種々のテクニックが必要であり、2021年3月に装置が設置されて以降、安定した測定...