77K Si結晶PL測定の精度向上に向けた取り組み

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Summary, etc.：: 当研究所新エネルギーシステム工学分野では、パワーデバイス用半導体の品質向上を目的とした研究の一環として、フォトルミネッセンス法（PL法）による低濃度不純物定量法の標準化に向けた測定実験が行われている。当該の測定を行うには種々のテクニックが必要であり、2021年3月に装置が設置されて以降、安定した測定...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 77K Si結晶PL測定の精度向上に向けた取り組み
Author/Editor: 林, 大吾
Author Heading: 林, 大吾ハヤシ, ダイゴ
Publication, Distribution, etc.: 九州大学応用力学研究所
Publication Date: 2023-07
Publication Date (W3CDTF): 2023-07
Periodical title: 九州大学応用力学研究所技術室技術室報告
No. or year of volume/issue: 5
Volume: 5
Pages: 7-12
Text Language Code: jpn
Subject Heading: シリコン
半導体
フォトルミネッセンス
分光測定
Target Audience: 一般
DOI: 10.15017/6794442
Access Restrictions: インターネット公開
Periodical Title (NCID): AA12867474
https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA12867474
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ