IGZO薄膜の微細構造解析とその薄膜トランジスタへの応用
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- エムデイ, ローフ, ウル, カリム, カン
- 著者標目
- エムデイ, ローフ, ウル, カリム, カン エムデイ, ローフ, ウル, カリム, カン
- 出版年月日等
- 2022-01-31
- 出版年（W3CDTF）
- 2022-01-31
- 並列タイトル等
- Microstructural Analysis of IGZO Thin Films and Its Thin-Film Transistor Application
- 寄与者
- 吉武, 剛服部, 励治佐道, 泰造
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 2022-01-31