IGZO薄膜の微細構造解析とその薄膜トランジスタへの応用

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Material Type: 博士論文
Title: IGZO薄膜の微細構造解析とその薄膜トランジスタへの応用
Author/Editor: エムデイ, ローフ, ウル, カリム, カン
Author Heading: エムデイ, ローフ, ウル, カリム, カンエムデイ, ローフ, ウル, カリム, カン
Publication Date: 2022-01-31
Publication Date (W3CDTF): 2022-01-31
Alternative Title: Microstructural Analysis of IGZO Thin Films and Its Thin-Film Transistor Application
Contributor: 吉武, 剛
服部, 励治
佐道, 泰造
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 2022-01-31
Dissertation Number: 17102甲第16116号
Degree Type: 博士（学術）
DOCTOR OF PHILOSOPHY
Text Language Code: eng
Target Audience: 一般
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ