微小角入射X線小角散乱による薄膜表面および薄膜に埋もれたナノ構造の評価に関する研究
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目次
第1章 序論|第2章 多孔質低誘電率層間絶縁膜中のナノ空孔の構造評価|第3章 磁性薄膜中のニッケル磁性ナノ粒子のナノ構造評価|第4章 CD－SAXSによる一次元表面回折格子のピッチ幅計測と断面形状の評価|第5章 研究の成果と今後の期待|引用文献|用語集と解説|論文および発表リスト|謝辞
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 伊藤, 義泰
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Nanostructure determination of surfaces and varied interfaces of thin films by grazing-incidence small-angel X-ray scattering
- 授与機関名
- 九州工業大学
- 授与年月日
- 2009-03-25
- 報告番号
- 甲第284号
- 学位
- 博士（工学）
- 本文の言語コード
- jpn