高耐圧パワー集積回路を目指したSiC金属-絶縁膜-半導体素子の基礎研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウタイアツ パワー シュウセキ カイロ オ メザシタ SiC キンゾク - ゼツエンマク - ハンドウタイ ソシ ノ キソ ケンキュウ
- 著者・編者
- Noborio, Masato
- 著者標目
- 出版年月日等
- 2009-03-23
- 出版年（W3CDTF）
- 2009-03-23
- 並列タイトル等
- Fundamental Study on SiC Metal-Insulator-Semiconductor Devices for High-Voltage Power Integrated Circuits
- 寄与者
- 木本, 恒暢鈴木, 実藤田, 静雄