超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御
• 著者・編者: Tada, Yasuhiko
• 著者標目: Tada, Yasuhiko
• 出版事項: 京都大学 (Kyoto University)
• 出版年月日等: 2012-03-26
• 出版年（W3CDTF）: 2012-03-26
• 並列タイトル等: Morphology and Placement Control of Microdomain Structure in Block Copolymer Thin Film for Fabricating Ultra High Density Pattern
• 寄与者: 長谷川, 博一; 吉﨑, 武尚; 金谷, 利治
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 2012-03-26
• 報告番号: 甲第16883号
• 学位: 博士(工学); Doctor of Philosophy (Engineering)
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: 多田, 靖彦; タダ, ヤスヒコ
• 件名標目: Block copolymer; Microdomain structure; Directed self-assemble; thin film
• NDC: 500
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.14989/doctor.k16883
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ

目次

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