超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御

Name of awarding university/degree: 京都大学,博士(工学),Doctor of Philosophy (Engineering)

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Material Type: 博士論文
Title: 超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御
Author/Editor: Tada, Yasuhiko
Author Heading: Tada, Yasuhiko
Publication, Distribution, etc.: 京都大学 (Kyoto University)
Publication Date: 2012-03-26
Publication Date (W3CDTF): 2012-03-26
Alternative Title: Morphology and Placement Control of Microdomain Structure in Block Copolymer Thin Film for Fabricating Ultra High Density Pattern
Contributor: 長谷川, 博一
吉﨑, 武尚
金谷, 利治
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 2012-03-26
Dissertation Number: 甲第16883号
Degree Type: 博士(工学)
Doctor of Philosophy (Engineering)
Text Language Code: eng
Alias of Author: 多田, 靖彦
タダ, ヤスヒコ
Subject Heading: Block copolymer
Microdomain structure
Directed self-assemble
thin film
NDC: 500
Target Audience: 一般
DOI: 10.14989/doctor.k16883
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 京都大学 : 京都大学学術情報リポジトリ