文書・図像類

インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発

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インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発

資料種別
文書・図像類
著者
上杉, 喜彦ほか
出版者
-
出版年
2011-09-30
資料形態
デジタル
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

金沢大学理工研究域電子情報通信学系DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムおよび2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラ...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
文書・図像類
著者・編者
上杉, 喜彦
Uesugi, Yoshihiko
出版年月日等
2011-09-30
出版年(W3CDTF)
2011-09-30
並列タイトル等
Development of Intelligent RF Induction Plasma Source
タイトル(掲載誌)
平成22(2010)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2010 Fiscal Year Final Research Report
巻号年月日等(掲載誌)
2008-2010
掲載巻
2008-2010