インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発

Material type: 文書・図像類

Author: 上杉, 喜彦ほか

Publisher: -

Publication date: 2011-09-30

Material Format: Digital

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NDC: -

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Note (General)：: 金沢大学理工研究域電子情報通信学系DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムおよび2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラ...

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Material Type: 文書・図像類
Title: インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発
Author/Editor: 上杉, 喜彦
Uesugi, Yoshihiko
Author Heading: 上杉, 喜彦
Uesugi, Yoshihiko
Publication Date: 2011-09-30
Publication Date (W3CDTF): 2011-09-30
Alternative Title: Development of Intelligent RF Induction Plasma Source
Periodical title: 平成22(2010)年度科学研究費補助金基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2010 Fiscal Year Final Research Report
No. or year of volume/issue: 2008-2010
Volume: 2008-2010
Pages: 6p.-
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 高周波誘導プラズマ
熱プラズマ
帰還制御
プラズマ-材料相互作用
Target Audience: 一般
Note (General): 金沢大学理工研究域電子情報通信学系
DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムおよび2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラズマシステムを構築し、その初期性能を確認した。本研究で構築したインテリジェント高周波誘導プラズマ装置を用いて、金属及び高分子蒸気によるプラズマ熱流低減効果に関する実験に適用した.
We have developed a temperature controlled RF induction plasma source using a digital signal processor for feedback control and real time calculation of plasma radiation temperature. Experiments on the plasma-wall interactions in plasma applications and fusion plasmas have been done using this newly developed RF induction plasma source.
研究課題/領域番号:20340160, 研究期間(年度):2008–2010
出典：研究課題「インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発」課題番号20340160（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所））（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-20340160/20340160seika/）を加工して作成
DOI: 10.24517/00034626
Source: https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=34639&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=34639&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
Access Restrictions: 限定公開
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https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-20340160/20340160seika/
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA