微小部品の機械的特性を評価するマイクロテスティング法の開発研究

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 微小部品の機械的特性を評価するマイクロテスティング法の開発研究
• 著者・編者: 尾田, 十八; Oda, Juhachi
• 著者標目: 尾田, 十八; Oda, Juhachi
• 出版事項: 金沢大学工学部
• 出版年月日等: 1998-03-01
• 出版年（W3CDTF）: 1998-03-01
• 並列タイトル等: Study of micro-testing method evaluating mechanical properties of micro-elements
• タイトル（掲載誌）: 平成9(1997)年度 科学研究費補助金 基盤研究(A) 研究成果報告書 = 1997 Fiscal Year Final Research Report
• 巻号年月日等（掲載誌）: 1995-1997
• 掲載巻: 1995-1997
• 掲載ページ: 39p.-
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロマテリアル; マイクロテスティング; マイクロマシン; 薄膜; 引張試験; せん断強さ; 2軸引張強さ; 逆解析; Micro-material; Micro-testing; Micro-machine; Thin film; Tensile test; Shearing strength; Inverse analysis; Bi-axial tensile strength
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 本研究では現在多方面で利用されている電子デバイス等の構成材料としてのマイクロマテリアルに対して,その機械的特性を評価する方法,いわゆるマイクロテスティング法の開発を次のように進めた. 1.マイクロテスティング法のための力学的手法の開発 薄膜材料を対象とし、かつそれを含む超小構造体として積層構造モデルを考え,これ特有の応力・ひずみ解析法を提示した.具体的には「多層構造体の有限要素法」と「多層ばり理論」を提示し,その応用例も示した. 2.薄膜のヤング率と引張り強さ推定法の開発 基板に平行部を有する特異な形状の薄膜を形成し,それを引張試験し,薄膜平行部の変位と2層試験片の全荷重を求めることによって,薄膜の破断までに至る全応力-ひずみ挙動を推定する方法を提示した.またその有効性を紙フェノール基板に銅箔が蒸着されたポジ感光基板をモデル材料として実際に試験し,明らかにした. 3.薄膜のせん断強さおよび2軸引張強さ推定法の開発 一軸引張試験を行うことで,薄膜の面内せん断強さや2軸引張強さを測定する新しい方法を提示した.それは目的とするせん断応力や2軸引張応力場を生じさせる形状をトポロジカルな位相決定問題と考え,それに対してFEMと最適化手法を応用して求めたものである. In this study, theoretical techniques to analyze dynamically the micro-elements and new micro-testing methods evaluating the mechanical properties are proposed. These studies are as follows ; 1. Studies of theoretical techniques to analyze dynamically micro-elements A special finite element method and a special beam theory for multiple laminated structures are proposed. These methods are used for the stress anlyses of multiple laminated structures composed of thin films and plates. 2. Studies of new tensile test method for thin films A tensile test specimen composed of thin film with parallel part and matrix plate is proposed. By measuring the displacement at the parallel part of film and the total tensile force of specimen, the stress-strain relation of film is obtained inverse-analytically. 3. Studies of new shearing and bi-axial tensile test methods for thin films In spite of an uni-axial tensile test, the stress condition in the object part of specimen is pure shear of bi-axial tensile stress. Such an unique specimen can be determined by using topological potimization techniques. On the new shearing test specimen, the validity is examined by using AI plate.; In this study, theoretical techniques to analyze dynamically the micro-elements and new micro-testing methods evaluating the mechanical properties are proposed. These studies are as follows ;1. Studies of theoretical techniques to analyze dynamically micro-elementsA special finite element method and a special beam theory for multiple laminated structures are proposed. These methods are used for the stress anlyses of multiple laminated structures composed of thin films and plates.2. Studies of new tensile test method for thin filmsA tensile test specimen composed of thin film with parallel part and matrix plate is proposed. By measuring the displacement at the parallel part of film and the total tensile force of specimen, the stress-strain relation of film is obtained inverse-analytically.3. Studies of new shearing and bi-axial tensile test methods for thin filmsIn spite of an uni-axial tensile test, the stress condition in the object part of specimen is pure shear of bi-axial tensile stress. Such an unique specimen can be determined by using topological potimization techniques. On the new shearing test specimen, the validity is examined by using AI plate.; 研究課題/領域番号:07555029, 研究期間(年度):1995–1997, 平成9(1997)年度 科学研究費補助金 基盤研究(A) 研究成果報告書の一部(概要)を掲載.; 出典：「微小部品の機械的特性を評価するマイクロテスティング法の開発研究」研究成果報告書 課題番号07555029(KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）) 本文データは著者版報告書より作成
• DOI: 10.24517/00034867
• オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
• 関連情報: https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=30019749; https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07555029/; https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-07555029/075550291997kenkyu_seika_hokoku_gaiyo/
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA