表面分析装置を搭載した低エネルギーイオンビーム蒸着装置

• 資料種別: 文書・図像類
• タイトル: 表面分析装置を搭載した低エネルギーイオンビーム蒸着装置
• 著者・編者: 大野 秀樹; 青木 康; 永井 士郎
• 著者標目: 大野 秀樹; 青木 康; 永井 士郎
• 出版年月日等: 1994-10
• 出版年（W3CDTF）: 1994-10
• 並列タイトル等: Low-energy ion-beam deposition apparatus equipped with surface analysis system
• タイトル（掲載誌）: JAERI-Research 94-018
• 本文の言語コード: jpn
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 低エネルギーイオンビーム蒸着装置は、高崎研究所で進められている放射線高度利用研究の一環で平成3年3月に設置したものである。本装置は、超高真空下におけるイオンビーム蒸着の薄膜形成過程や低エネルギーイオンと固体表面の相互作用の解明を目的として作製されたものである。本報告書は、低エネルギーイオンビーム蒸着装置の概要、運転要領及び本装置でこれまで行ってきた炭素薄膜形成に関する実験結果についてまとめたものである。
• 一次資料へのリンクURL: /JAERI-Research-94-018.pdf （fulltext）; https://jopss.jaea.go.jp/pdfdata/JAERI-Research-94-018.pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 限定公開
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : JOPSS:JAEA Originated Papers Searching System

• 要約等: 低エネルギーイオンビーム蒸着装置は、高崎研究所で進められている放射線高度利用研究の一環で平成3年3月に設置したものである。本装置は、超高真空下におけるイオンビーム蒸着の薄膜形成過程や低エネルギーイオンと固体表面の相互作用の解明を目的として作製されたものである。本報告書は、低エネルギーイオンビーム蒸着...