表面分析装置を搭載した低エネルギーイオンビーム蒸着装置

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 表面分析装置を搭載した低エネルギーイオンビーム蒸着装置
• Author/Editor: 大野 秀樹; 青木 康; 永井 士郎
• Author Heading: 大野 秀樹; 青木 康; 永井 士郎
• Publication Date: 1994-10
• Publication Date (W3CDTF): 1994-10
• Alternative Title: Low-energy ion-beam deposition apparatus equipped with surface analysis system
• Periodical title: JAERI-Research 94-018
• Text Language Code: jpn
• Target Audience: 一般
• Note (General): 低エネルギーイオンビーム蒸着装置は、高崎研究所で進められている放射線高度利用研究の一環で平成3年3月に設置したものである。本装置は、超高真空下におけるイオンビーム蒸着の薄膜形成過程や低エネルギーイオンと固体表面の相互作用の解明を目的として作製されたものである。本報告書は、低エネルギーイオンビーム蒸着装置の概要、運転要領及び本装置でこれまで行ってきた炭素薄膜形成に関する実験結果についてまとめたものである。
• Source: /JAERI-Research-94-018.pdf （fulltext）; https://jopss.jaea.go.jp/pdfdata/JAERI-Research-94-018.pdf
• Access Restrictions: 限定公開
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 日本原子力研究開発機構 : JOPSS:JAEA Originated Papers Searching System

• Summary, etc.: 低エネルギーイオンビーム蒸着装置は、高崎研究所で進められている放射線高度利用研究の一環で平成3年3月に設置したものである。本装置は、超高真空下におけるイオンビーム蒸着の薄膜形成過程や低エネルギーイオンと固体表面の相互作用の解明を目的として作製されたものである。本報告書は、低エネルギーイオンビーム蒸着...