低エネルギーXe原子による炭素スパッタリングの分子動力学シミュレーション

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: 低エネルギーXe原子による炭素スパッタリングの分子動力学シミュレーション
• 著者・編者: 村本, 哲也; 剣持, 貴弘; 百武, 徹; 西田, 迪雄; Muramoto, Tetsuya; Kenmotsu, Takahiro; Hyakutake, Toru; Nishida, Michio
• 著者標目: 村本, 哲也; 剣持, 貴弘; 百武, 徹; 西田, 迪雄; Muramoto, Tetsuya; Kenmotsu, Takahiro; Hyakutake, Toru; Nishida, Michio
• 出版事項: 宇宙航空研究開発機構
• 出版年月日等: 2010-02-26
• 出版年（W3CDTF）: 2010-02-26
• 並列タイトル等: MD Simulation of Carbon Sputtering under Low-energy Xe Ion Bombardment
• タイトル（掲載誌）: 宇宙航空研究開発機構研究開発報告: イオン加速グリッド耐久認定用数値解析 JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) ツールの研究開発ワークショップ論文集
• 巻号年月日等（掲載誌）: JAXA-RR-09-004
• 掲載巻: JAXA-RR-09-004
• ISSN（掲載誌）: ISSN : 1349-1113
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: Molecular Dynamics Simulation, Low-Energy Sputtering, Sputtering Database
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Workshop on research and development of JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) tool for numerical evaluation of ion engine grid lifetime; In order to develop the sputtering database to estimate the erosion of accelerator grids of an ion engine, the low-energy sputtering of carbon material with Xe ion is studied through molecular dynamics (MD) simulations. For the normal incidence, the MD result of sputtering yield almost agrees with the experimental result by Williams et al. (AIAA-2004-3788). However, the experimental result shows less incident angle dependence than the MD result. Because it seems that Xe ions in the experiment feel randomized surface normal vectors when the low-energy Xe ion caused many-body collisions to local surface atoms in rough surface. Thus, it is proper that the MD simulation in a smooth surface overestimates the incident angle dependence of sputtering yield. Hence, it is necessary to include the effect of surface roughness using Monte-Carlo simulation with the sputtering database for plane surface.; 形態: カラー図版あり; Physical characteristics: Original contains color illustrations; 資料番号: AA0064642003; レポート番号: JAXA-RR-09-004
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 掲載誌（NCID）: AA1192675X; https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA1192675X
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• 提供元機関・データベース: 宇宙航空研究開発機構 : 宇宙航空研究開発機構リポジトリ